韶关ES65真空泵维修-东莞东欧真空设备公司

真空泵维修对零件更换的要求

真空泵维修过程中，零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要，韶关ES65真空泵维修，对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解，同时注意其零件之间的精度及配合公差，因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。

主要特性和优势

双活塞设计 | 便于维修，部件更少，各个型号之间的部件可相互替换，大间隙设计优化了在要求严苛的应用中的性能

外部平衡 | 极低的振动级别，便于维修

三轴承设计 | 坚固耐用的重型设计，活塞和滑片使用寿命更长，与市面同类型产品相比维修间隔平均时长增加高达 50%，密封件寿命更长

密封阀盖 | 使用寿命更长，低噪音，易于维护，部件之间可相互替换，适用于严峻环境的哈氏合金弹簧以及复位弹簧设计

O 形圈密封件 | 易于维修，维修间隔更长，泄漏风险降低

集成式组装性能 | 减少泄漏通路，便于安装配件

低转速 | 转速小于 500 RPM，ES65真空泵维修***，比市面同类型产品慢达 50%，损耗更少，旋转损耗泵的寿命更长，处理微粒应用的能力更强

全泵速可达 1 Torr | 减少循环时间

较低的极限真空 | 极限值小于 0.01 Torr

高达 600 Torr | 持续高压泵送，具有适用于多种应用的灵活性，操作简单

泵系列

Stokes 212J

Stokes 412J

Stokes 612J

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。

EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获的单轴再生 Holweck? 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。

EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，ES65真空泵维修厂，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立接。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE

爱德华真空泵是属于油封旋片式机械真空泵， 日常维护检查的内容为观察泵油颜色， 查看油位， 检查进、出气口的过滤器。真空泵的常见故障是漏油、不能达到极限真空度和不能启动。

经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。  经常检查油质情况，ES65真空泵维修多少钱，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。