目前已有多种方法可以将寡核苷酸或短肽固定到固相支持物上。这些方法总体上有两种，表面羟基化条件，即原位合成（ in situ synthesis ）与合成点样两种。支持物有多种如玻璃片、硅片、聚膜、纤维素膜、尼龙膜等，但需经特殊处理。作原位合成的支持物在聚合反应前要先使其表面衍生出羟基或氨基（视所要固定***芯片的分子为核酸或寡肽而定）并与保护基建立共价连接；作点样用的支持物为使其表面带上正电荷以吸附带负电荷的探针分子，通常需包被以氨基***或多聚赖氨酸等。
按照芯片上的探针对微阵列芯片进行分类，有核酸芯片、蛋白质芯片和***芯片等，目前应用泛的是核酸芯片，核酸芯片又有两种类型，分别是cDNA微阵列和寡核苷酸微阵列。
cDNA***文库由PCR产物组成，为双链结构，长度一般在数百至数千碱基对，因而芯片的杂交条件对每个***不能保证是的，假阳性率较高，因此，金属表面羟基化，判定cDNA微阵列的终结果时，有必要对筛选出的***进行测序。在应用cDNA微阵列进行研究时，铁表面羟基化，一般需要提供一个对照样本，将其与需要研究的标本给予不同的标记，将二者灯亮混合后共同注入芯片进行孵育。扫描后得到的原始数据是各个单元格中信号强度的比率。
2）用点样法固定在玻璃板上的DNA探针阵列，浙江表面羟基化，通过与荧光标记的靶***杂交进行检测。这种方法点阵密度可有较大的提高，各个探针在表面上的结合量也比较一致，但在标准化和批量化生产方面仍有不易克服的困难。3）在玻璃等硬质表面上直接合成的寡核苷酸探针阵列，与荧光标记的靶***杂交进行检测。该方法把微电子光刻技术与DNA化学合成技术相结合，可以使***芯片的探针密度大大提高，减少***的用量，实现标准化和批量化大规模生产，有着十分重要的发展潜力。
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