MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，生物芯片微纳加工外协，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
光学微纳制造技术是什么？
芯片制造的核u心是光学微纳加工，它的参数包括：分辨力、套刻精度、视场、加工速度等等。光学微纳加工的作用便是将掩膜版上的图形转移到代加工的基片上。由于传统技术常受限于光学衍射极限，原来主要是通过缩短光源的波长，用来增大光学系统中物镜的数值孔径来提高分辨力，但这仍然存在很大的极限。目前，生物芯片微纳加工加工，光学微纳制造加工技术面临着的新的基于和挑战，未来仍有一断很长的路要走。
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mems设计之硅压阻式压力传感器设计
mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备良好线性输出，要考虑其***大变形量，敏感薄膜表面***大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。
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MEMS微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，上海生物芯片微纳加工，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
功能性超浸润表面的微纳加工制造
浸润性可控表面在诸多领域都有着十分重要的应用价值，具体体现在交通，建筑，医i药，生物芯片以及微机电系统等领域。就目前的研究现状而言，微纳加工制造工艺普遍难以满足浸润性调控所需的复杂微纳结构梯度以及跨尺度制造的要求，对这方面的探索有着很大的研究空间和研究价值。
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生物芯片微纳加工加工-上海生物芯片微纳加工-半导体研究所由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所为客户提供“深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻”等业务，公司拥有“半导体”等品牌，专注于电子、电工产品加工等行业。，在广州市天河区长兴路363号的名声不错。欢迎来电垂询，联系人：曾经理。