无尘室内防止微粒子污染的基本原则：
不发生
在控制大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到小限度应采取以下对策：
减少接触剥离发尘的动作形态；
采用磨耗发尘小的材质；
采用发尘小的润滑油；
机台应用空压浮上的非接触化工作原理。
(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。
(2)洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时，采用FFU系统已经普遍。
洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑胶底，布质部分则采用与洁净衣相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Vinyl），在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。（清洁急救网合作工厂伙伴为清洁同行提供无尘车间实地演示）无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，工厂无尘室设备搬迁公司联系方式，在高洁净区为2～3天，其他区域则为5天～1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用。
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