广西离子束刻蚀机-创世威纳科技公司-离子束刻蚀机多少钱

离子束刻蚀机的特点

刻蚀过程是纯物理溅射，离子束刻蚀机多少钱，可以刻蚀任何固体材料;平行离子束刻蚀，高各向异性;无钻蚀;精度高，离子束刻蚀机价格，分辨率lt;0.01um.

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离子束刻蚀速率

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刻蚀速率是指单位时间内离子从材料表面刻蚀去除的材料厚度，广西离子束刻蚀机，单位通常为A/minnm/min.刻蚀速率与诸多因素有关，包括离子能量、束流密度、离子入射方向、材料温度及成分、气体与材料化学反应状态及速率、刻蚀生成物、物理与化学功能强度配比、材料种类、电子中和程度等。

刻蚀技术

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刻蚀技术（etching technique），是在半导体工艺，按照掩模图形或设计要求对半导体衬底表面或表面覆盖薄膜进行选择性腐蚀或剥离的技术。刻蚀技术不仅是半导体器件和集成电路的基本制造工艺，而且还应用于薄膜电路、印刷电路和其他微细图形的加工。刻蚀还可分为湿法刻蚀和干法刻蚀。