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对于催化剂，其活性组分主要是TiO2。其颗粒粒径越小，尤其是纳米级，比表面与反应面就越大，电子-空穴的简单复合率就小，光催化活性也就高；若在TiO2中掺杂金属或非金属粒子，低温等离子废气治理，还可拓展其可接受的光照射响应范围；因为锐钛矿型具有强吸附氧气能力，金红石型具有较高的光利用率，低温等离子废气净化工程，二者的混晶型物质在光催化性能方面的表现要比单一晶型物质要好。其它影响光催化活性的因素还包括，孔隙率、平均孔径、表面电荷、焙烧温度、纯度等。

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　DDBD低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态。低温等离子体降解污染物是利用高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。