




空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘生产车间等级1000-100000级。
优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再启动,欲达需求之洁净度,电子厂无尘净化工程,往往须耗时相当长一段时间。
认真了解和摸清原有建筑或洁净厂房的现状,查阅原有的设计图纸、计算资料,尤为重要的是查阅竣工资料(含隐蔽工程的施工、验收记录),必须了解清楚原有建筑的结构型武、特点、承载能力等。做好现场实地考察核对或必要的测试工作,主要包括平面布局、剖面尺寸,各相关部位的具体建筑构造、标高,注意确定梁底、板底的净高尺寸,墙体、门窗等的构造。拟改造范围内各种公用动力设施的现状,可利用的设备、附件和管线的鉴别以及相关技术参数的核查。

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