由于低温N型冷凝泵具有无油, 对所有气体的抽速都较大, 特别是对水蒸汽、H2等抽速很大, 适应性强, 制冷机低速运行, 且运动部件很少, 有利于长期可靠运行等优点, 因而, 被广泛应用于IC生产工艺中的蒸发、溅射、离子注入、分子束外延以及其它诸如高能粒子加速qi、受控热核反应、电真空器件、材料科学、表面分析仪器等领域,以此来获得清洁的高真空或超高真空。
N型冷凝泵的构成之一：冷冻机：目前, 冷凝泵中所使用的冷冻机有以下三种形式。
① G-M循环冷冻机: ***早被用于冷凝泵中的小型极低温冷冻机, 它是根据Gifford和Mcmahon而发明研制, 具有很高可靠性、极低温度的冷冻机。如今也使用的很广泛。②Modified Solvay循环冷冻机: 严格地说, 在热力学上与G-M循环不一样, 但在实际上也可以看作是用在气压驱动机构上的G-M 循环冷冻机。③ Sterling 循环冷冻机:是容压缩和膨胀为一体的冷冻机, 在冷凝泵中一般作为大型机种来使用, 但目前基本上不使用。
