万级无尘车间净化工程-苏州金特瑞机电工程1-台州车间净化工程

安装位置及安装条件

* 安装位置应考虑本机的散热率及平常容易检查维护之场所

*安装条件：

1、设置平坦无振动之地面（请用水平仪检查）

2、选择通风良好，且勿受阳光直接照射，食品车间净化工程，忌雨淋。

3、本机应远离热源及，物质

4、供电线路应尽可能缩短

5、请选择尘埃湿气较少且通风良好之地点安装

6、环境温度：5至35℃

7、相对湿度≤85％R.H

8、大气压：86～106Kpa

***注意事项：

1、人员净化

1-1、人员净化：生物洁净室（区）的人员净化程序宜按下图布置

1-2、洁净区域的入口应设置气闸室；气闸室的出入门应设置互锁装置。

1-3、空气洁净等级相同的无菌洁净室和非无菌洁净其人员净化用室应分别设置。

2、物料净化

2-1、洁净室的原辅物料、包材出入口，应设置物料净化用室。

2-2、进入无菌洁净室的原辅料、包材除满足以上要求外，尚应在出入口设置物料灭菌室和灭菌设施。

2-3、物料清洁室或灭菌室与洁净室之间，应设置气闸室或传递柜。

3、10万级及以上区域工作服应在洁净室内洗涤、干燥、整体，必要时应按要求灭菌。

洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，万级无尘车间净化工程，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，药厂车间净化工程，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产***