净化间的优点
优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，百级净化间，不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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净化间的工作原理
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1光催化法 工作原理：空气通过光催化空气净化装置时，光触媒在光的照射下自身不起变化，净化间，却可以促进化学反应的物质空气中的***物质如甲醛、等在光催化的作用下发生降解，生成***无害的物质，而空气中的***也被紫外光除掉，空气因此得到净化。 缺点：广谱但需要空气流速较低，净化速度比较慢并且对***有一定的辐射，在欧美是被汰的净化方式。2. 甲醛清除剂 工作原理：是采用化学物质和甲醛进行化学反应，达到清除甲醛的目的 1、化学反应类：与甲醛发生化学反应生成二氧化碳和水，如氨水等； 2、生物类：由能与甲醛反应的生物制剂制成，如尿素、大豆蛋白、氨基酸等； 3、植物类：由植物提取物制成，如芦荟、茶叶提取物等； 4、封闭类：由成膜物质制成，形成一层薄膜阻止甲醛释放，如几丁聚糖、液体石蜡等 缺点：一，化学反应过后生成的物质很可能带来二次污染. 实践过程中常常出现二次检测超标的现象二是是在不改变化学成分的基础上吸收甲醛，降低空气中的甲醛含量，但是这样的方式治标不治本，甲醛容易再次释放出来。
净化间的标准
对于平行流洁净室《习惯上称层流洁净室，由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准，采用0.45m/s．但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的，为了节能，也都在探求降低风速的可行性。在我国，《空气洁净技术措施》和(洁净厂房设计规范）都是这样规定的垂直平行流（层流）洁净室≥0.25m/s水平平行流（层流）洁净室≥0.35 m/s
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