复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：
大扒头：当清扫地面面积较大时，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。
小扒头：清扫面积相对较小时，工厂无尘室设备***多少钱，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。
圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒
伸缩杆：增大清扫范围领域。
软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到第1过滤系统。
集尘袋：洁净室吸尘器的第1过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和***过滤器有重要作用。
电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。
***过滤器：***过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是***后一个环节，***过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。
并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10，000~100，000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class 1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
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