激光干涉仪光学元件的影响
1.影响因素
光学器件表面不干净会导致信号强度减弱，使精密测量变得困难，尤其是在测量较长距离的场合。
2.减少及消除方法
应加强对干涉镜和反射镜等光学元件的正确保管及使用，不能弄脏；若偶尔弄脏光学元件，激光干涉仪，可使用高质量的透镜拭纸和专卖店供应的无痕迹玻璃清洁液，按使用说明清洁灰尘、手印等。
激光干涉仪功能特点：
功能广
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性***精度、重复***精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。
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