真空镀膜设备背压检漏法
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，真空镀膜设备中多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。
其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。
(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和充气压力的升高，被检件内部示漏气体的分压力也必然会逐渐升高。
(2)净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。
如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。
在净化过程中，因为有一部分气体必然会从被检件内部经漏孔流失，从而导致被检件内部示漏气体的分压力逐渐下降，而且净化时间越长，示漏气体的分压降就越大。
(3)检漏过程则是将净化后的被检件放入真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。
抽真空后由于压差作用，示漏气体即可通过漏孔从被检件内部流出，然后再经过真空室进入检漏仪，按检漏仪的输出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。
真空镀膜机冷却配套冷水机的作用
真空镀膜机冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜机器的温度，使其工作达到高精度、***率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下，自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是极不稳定的。因此，可以说冷水机是真空镀膜设备中非常重要的配套冷却设备，因为冷水机直接关系到真空镀膜机工作效果的好坏。
真空镀膜机为什么要配套冷水机？
这个要从真空镀膜工作原理查看：膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽，结合力也很差。
冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统，水温在5℃～30℃范围内调节控制，可以达到高精度、***率控制温度的目的。其冷却原理是：制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜机进行降温，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，达到冷却的作用。
不同类型镀膜机的适用范围介绍
随着人们生活水平的不断提高，人们对商品的装饰要求也越来越高，这便对各类商品装饰提出了新的挑战，传统上对非金属物件表面金属化或金属物件表面装饰通常采用电镀的方法。但由于传统电镀毒性大，污染严重,在环保意识逐步加强的今天,这种技术已逐渐被社会淘汰。
真空镀膜机与传统的电镀法相比，多功能真空镀膜机技术具有装饰效果好、金属感强、成本低(约为传统电镀的1／3～1／2)、污染小、易于操作等优点。特别在非金属物件的应用上,有着传统电镀无法比拟的优势。
鉴于此,真空镀膜已被广泛应用于各类非金属制品的表面金属化上：
1、磁控溅射镀膜设备：应用于信息存储领域，如磁信息存储、磁光信息存储等；
2、磁控溅射镀膜机：应用于防护涂层，如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等；
3、磁控溅射镀Al膜生产线：应用于太阳能利用领域，如太阳能集热管、太阳能电池等；
4、光学镀膜设备：应用于光学薄膜领域，如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等；
5、AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线：应用于信息显示领域，如液晶屏、等离子屏等；
6、触摸屏连续式镀膜生产线：应用于触摸屏领域，如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等；
7、磁控中频多弧离子镀膜设备：应用于硬质涂层，如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等；
8、PECVD磁控生产线：应用于集成电路制造，如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等；
9、蒸发式真空镀膜设备：应用于在装饰饰品上，如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜；
10、低辐射玻璃镀膜生产线：应用于建筑玻璃方面，如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等；
11、抗反射导电膜连续磁控溅射生产线：应用于电子产品领域，如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等；
