轰击离子束刻蚀机哪家好-创世威纳公司-轰击离子束刻蚀机

离子束刻蚀机

离子束技术的应用涉及物理、化学、生物、材料和信息等许多学科的交叉领域。离子束加工在许多精密、关键、高附加值的加工模具

等机械零件的生产中得到了广泛应用。一些***用于军事装备的建设上，如改善蜗轮机主轴承、精密轴承、齿轮、冷冻机阀门和活塞的性能。离子注入半导体掺杂已成为超大规模集成电路微细加工的关键工艺，导致出现了80年代集成电路产业的腾飞。

创世威纳***提供离子束刻蚀机，轰击离子束刻蚀机哪家好，如果您想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询！

刻蚀工艺过程

以下内容由创世威纳为您提供，今天我们来分享刻蚀工艺过程的相关内容，轰击离子束刻蚀机多少钱，希望对同行业的朋友有所帮助！

等离子体刻蚀工艺包括以下六个步骤。 分离： 气体由等离子体分离为可化学反应的元素； 扩散： 这些元素扩散并吸附到硅片表面； 表面扩散：到达表面后， 四处移动； 反应： 与硅片表面的膜发生反应； 解吸： 反应的生成物解吸，轰击离子束刻蚀机报价， 离开硅片表面； 排放： 排放出反应腔。

离子束刻蚀常见的效应

刻蚀的理想结果是将掩模(mask)的图形准确地转移到基片_上，尺寸没有变化。由于物理溅射的存在，轰击离子束刻蚀机，掩模本身的不陡直和溅射产额随离子束入射角变化等原因，产生了刻面( Faceting)、槽底开沟(Trenching or Ditching) 和再沉积等现象，这些效应的存在降低了图形转移精度。

想要了解更多离子束刻蚀机的相关信息，欢迎拨打图片上的***电话！