离子束刻蚀机
离子束刻蚀是利用离子束直接轰击工件，轰击离子束刻蚀机哪家好，将工件上的材料溅射出来，轰击离子束刻蚀机原理，实现材料去除的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程，在各种常规刻蚀方法中具有分辨率较高、陡直性较好的特点。应用于在基板表面抛光或材料的去除，尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀，如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、niCr等。
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表面抛光
离子束能完成机械加工中的***后一道工序一-精抛光，以消除机械加工所产生的刻痕和表面应力。加工时只要严格选择溅射参数(入射离子能量、离子质量、离子入射角、样品表面温度等)，光学零件就可以获得较佳的表面质量，轰击离子束刻蚀机安装，且散射光较小。离子束拋光激光棒和光学元件的表面，轰击离子束刻蚀机，表面可以达到较高的均匀和一致性，而且元件本身在工艺过程中也不会被污染。
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离子束技术的应用涉及物理、化学、生物、材料和信息等许多学科的交叉领域。离子束加工在许多精密、关键、高附加值的加工模具
等机械零件的生产中得到了广泛应用。一些***用于军事装备的建设上，如改善蜗轮机主轴承、精密轴承、齿轮、冷冻机阀门和活塞的性能。离子注入半导体掺杂已成为超大规模集成电路微细加工的关键工艺，导致出现了80年代集成电路产业的腾飞。
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