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Rangu 扩散真空泵的基本组件是一个圆柱形泵和可加热底部。可加热的油作为泵的工作液。油蒸汽上升进入喷嘴系统,经过几道蒸汽流阶段后在高压下排出系统。工业废气中的分子被这些蒸汽流捕获下移,流向前级泵出口。油蒸汽在水冷式泵机组内凝结,直接返回机组底部。借助其多阶段、创新的喷嘴理念,Rangu 扩散真空泵可以提供极高且稳定的抽速。
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(注:不管测定饱与蒸汽压,极限全压力,极限分压力均使用双级优级真空泵作为试验泵。)折叠编辑本段使用形状中国许多生产与运用真空泵厂家及用户单位,对正确选择使用真空泵油尚处于迷惘阶段。因为,过去几十年来,不管生产或运用任何种类真空泵,无论大泵或小泵,转速快或慢,极限真空条件高或低,真空泵滑片销售,有无耐温,耐腐蚀条件,运用寿命长短等等……,都无从选择。市场可供仅有是--真空泵油。
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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,真空泵滑片厂家,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。
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