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涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快,能抗各种射线的照射,edwa***爱德华真空泵维修,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。特性与优势转子设计提高了性能,可以实现***的抽速和压缩比***终用户可以在极短的时间内完成彻底的维修,无需复杂的工具或大卸。

优点:
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。从科学仪器到工业流程的多种应用场合,均已证明该真空规坚固可靠。

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