质量流量计
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，气体流量积算仪多少钱，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？
气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute，每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。
对多数用户而言，河北气体流量积算仪，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数， 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是， 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位，气体流量积算仪价格， 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）， 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。
功能特点
（1）全范围自动温度、压力补偿运算，补偿方式任意设定；（2）线性积算、开方积算任意设定；（3）瞬时流量、累积流量、温度、压力多种参数显示；（4）小信号切除功能，切除范围0-5%可选；（5）累积流量值可通过面板按键清零，清零操作可锁；（6）掉电保护功能，累积流量值掉电保持时间大于5年，所有设定值掉电后永1久保持；（7）***的模块化结构，配合功能强大的仪表芯片，功能组合、系统升级非常方便 。
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