3、驱动电压和驱动频率；
4、介电材料；
5、原料气中氧的含量及洁净和干燥度。
6、发生器电源系统的效率（效率高，热量转化少。）；
臭氧是一种氧化性极强的不稳定气，臭氧输出浓度受多种因素的影响，高浓度臭氧发生器，其中腔温度是极重要的因素之一；臭氧在30度左右时会在1分钟内衰减一半。在 40~50℃ 时衰减达到80%。超过60℃臭氧会马上分解。
臭氧产量是指臭氧发生器单位时间内臭氧的产出量；臭氧浓度数值与进入臭氧发生器总气量数值的乘积即为臭氧产量；通常使用mg/h，臭氧，g/h，kg/h这些单位表示。臭氧发生器标准中规定臭氧发生器规格型号使用臭氧产量表示和区分。小型臭氧发生器使用g/h为单位，大型臭氧发生器使用kg/h为单位区分规格的大小。
利用高压电离(或化学、光化学反应)，使空气中的部分氧气分解聚合为臭氧，是氧的同素异形转变过程;亦可利用电解水法获得。臭氧的不稳定性使其很难实现瓶装贮存 ，高浓度臭氧水，一般只能利用臭氧发生器现场生产，随产随用。 臭氧发生器的分类 按臭氧产生的方式划分，纯净臭氧，臭氧发生器主要有三种：一是高压放电式，二是紫外线照射式，三是电解式。
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