光刻胶市场
***光刻胶市场扩增,对光刻胶的总需求不断提升。据估计,光刻胶PR1-40A??,2015年国际光刻胶市场达73.6亿美元,其中PCB光刻胶占比24.5%,LCD光刻胶占26.6%,半导体光刻胶占比24.1%。2010年到2015年期间,国际光刻胶市场年复合增长率约为5.8%;据中国产业信息网数据,2015年,PCB光刻胶、LCD光刻胶和半导体光刻胶的国际市场增速均在5%左右。在下游产业的带动下,光刻胶PR1-200A???,江瀚咨询预计国际光刻胶市场规模在2022年可能突破100亿美元。
政策扶持
为促进我国光刻胶产业的发展,***02重大专项给予了大力支持。今年5月,02重大专项实施管理办公室***任务验收***组、财务验收***组通过了“极紫外光刻胶材料与实验室检测技术研究”项目的任务验收和财务验收。
据悉,经过项目组全体成员的努力攻关,完成了EUV光刻胶关键材料的设计、制备和合成工艺研究、配方组成和光刻胶制备、实验室光刻胶性能的初步评价装备的研发,达到了任务书中规定的材料和装备的考核指标。项目共申请发明专利15项(包括国际专利5项),截止到目前,共获得***专利10项(包括国际专利***3项)。
4,***
前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,进行***,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,
光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;
对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,光刻胶,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
***时间,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,
另外,光刻胶PC3-1500,为降低驻波效应影响,可在***后需进行烘焙,称为光后烘焙(PEB)
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