云南离子束刻蚀机-创世威纳科技公司-离子束刻蚀机生产厂家

离子束刻蚀机

离子束是指以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子。离子源用以获得离子束的装置。在各类离子源中，用得较多的是等离子体离子源，离子束刻蚀机哪家好，即用电场将离子从一团等离子体中引出来。这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度和引出系统的质量决定。属于这类离子源的有:潘宁放电型离子源射频离子源、微波离子源、双等离子体源、富立曼离子源等。另一类使用较多的离子源是电子碰撞型离子源，主要用于各种质谱仪器中。

离子束刻蚀机的应用

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应用***的离子束溅射和离子束刻蚀工艺，将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺，离子束刻蚀机多少钱，显著改善了应变式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性，使产品使用的温度范围大为扩展。由于没有活动部件，抗振动和抗冲的能力很强，可用于恶劣的环境。

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离子束刻蚀是通过物理溅射功能进行加工的离子铣。国内应用***广泛的双栅考夫曼刻蚀机通常由屏栅和加速栅组成离子光学系统，其工作台可以方便地调整倾角，离子束刻蚀机生产厂家，使碲镉gong基片法线与离子束的入射方向成θ角，云南离子束刻蚀机，并绕自身的法线旋转，如图1所示。评价沟槽轮廓主要的参数有沟槽的开口宽度We、沟槽的刻蚀深度H、台面的坡度角φ和沟槽底部的宽度Wb。我们常用的深宽比（Aspectratio）是指槽深H和槽开口宽度We的比值，本文中用R表示。深宽比是常用来作为衡量刻蚀工艺水平和刻蚀图形好坏的评价参数。