利用图象顺序形态学以及基于知识的阈值选择算法对IC图象进行预处理，具有运算量小、速度快和有效的特点。检测过程采用Blob分析，引入质量控制图方法分析系统误差对系统稳定性的影响，计算了检测系统的工序能力。系统检测精度高，实时性好，满足在线检测的要求。利用图象顺序形态学以及基于知识的阈值选择算法对IC图象进行预处理，具有运算量小、速度快和有效的特点。检测过程采用Blob分析，引入质量控制图方法分析系统误差对系统稳定性的影响，计算了检测系统的工序能力。系统检测精度高，实时性好，满足在线检测的要求。
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