





离子束刻蚀机的应用
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应用***的离子束溅射和离子束刻蚀工艺,离子束刻蚀机,将应变电桥直接制作在金属测压膜片上。由于不用传统的胶粘工艺,显著改善了应变式传感器的长期稳定性及抗蠕变特性,离子束刻蚀机多少钱,使产品使用的温度范围大为扩展。由于没有活动部件,抗振动和抗冲的能力很强,可用于恶劣的环境。


离子束刻蚀机
离子束刻蚀是利用离子束直接轰击工件,离子束刻蚀机价格,将工件上的材料溅射出来,实现材料去除的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程,在各种常规刻蚀方法中具有分辨率较高、陡直性较好的特点。应用于在基板表面抛光或材料的去除,尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀,如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、niCr等。
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反应离子刻蚀的原理
在反应离子刻蚀中,气体放电产生的等离子体中有大量化学活性的气体离子,这些离子与材料表面相互作用导致表面原子产生化学反应,生成可挥发产物。这些挥发产物随真空抽气系统被排走。随着材料表层的“反应-剥离-排放”的周期循环,材料被逐层刻蚀到特定深度。除了表面化学反应外,带能量的离子轰击材料表面也会使表面原子溅射,产生一定的刻蚀作用。所以,离子束刻蚀机报价,反应离子刻蚀包括物理和化学刻蚀两者的结合。
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