等离子清洗机的真空泵维修真空泵出现故障怎么办？
排除的方法有：
1、排气阀片断裂，排气阀片在真空泵内起到单向阀的作用，断裂后排气阀片单向阀作用失效，导致真空泵无法正常抽真空，从而真空泵抽真空能力下降。
2、真空泵内各级旋片出现不同程度磨损及划伤，真空泵一级旋片侧面摩擦面弧度已经被磨平，导致旋片配合间隙变大，影响抽空能力。
3、真空泵维修真空泵油位监视玻璃已经出现腐蚀及杂质附着的情况，无法清晰的对真空泵腔室内的油位进行观察。
4、真空泵转子抽排气滤网已经损坏，出现一定程度的腐蚀情况。
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真空泵维修真空度的调节
很多微型真空泵的本身是没调节真空度的功能的，只有通过加阀门的方式调节。比如在泵的抽气端串一个精密泄压阀，当真空度较高时，把阀门打开，真空度就降下来了。这种精泄压阀还有有定向排放***的气体等，到指示容器的通道，这是很多阀门没有的功能。
可以用智能真空泵，泵的上面有按钮，可以设定负压，还有液晶面板显示负压。另外还有一个旋钮，可以调节流量的大、小。这种智能真空泵又称交流电真空泵，数显真空泵。
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真空泵维修常见的几种振动故障及其特征频谱
1.力偶不平衡力偶不平衡症状特征：
同一轴上相位差180°；
存在1X转速频率而且占优势；
振动幅值随提高的转速的平方变化；
可能引起很大的轴向及径向振动幅值；
动平衡需要在两个修正面内修正。
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