耐腐蚀真空泵-真空泵-高胜达免费设计方案

检查所接电源的电压、相数、频率是否与电机铭牌相符，地线是否可靠。

10、泵运转过程中油温不能高于

75℃，在正常工作时应听到“嗒、嗒、嗒”之排气声，如有异声或温度骤升

时应停止工作，检查原因。

故障与检修

说明

11、停泵前必须关闭其余被抽系统联按之阀门（避免泵油进入被抽系统），然后关闭电机并注意是否打开了

充气阀，***后停止冷却水。

12、检修后的泵，应先做运转试验和性能试验，再联接到系统上去。

13、泵不用时，应用橡皮把进气口塞好，以免污物落入泵内。

真空泵在其工作压强下，真空泵厂家，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4

、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，真空泵，有时选用一种泵不能满足抽气要

求，需要几种泵组合起来，耐腐蚀真空泵，互相补充才能满足抽气要求。

如钛升华泵有很高的抽速，但

不能抽氦，而三极型溅射离子泵，

（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，

两者组合起来，

便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，

有的真空泵不能在大气压下工作，

需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5

、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、

分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，循环水真空泵，可以选择有油泵，加上一些防油

污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

被抽气体种类与抽气量

检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，

泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。

真空容积

检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。

考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。

主真空泵的选择计算

S=2.303V/tLog(P1/P2)