超高真空-真空-天成【稳健创新】

稳压器是保障设备精密电子元器件不遭受电流***的一种必备部件，超高真空，城市供电的电压忽高忽低变化是再正常不过的事情，稳压器解决了真空镀膜设备运行中电压电流瞬时过载对于元件的冲击，从而大大提高了系统运行可靠性。

稳压器应该具备一定性能：安全、省电、平稳、快速且范围广。

安全：过载保护、模组设计、自动旁路。

省电：低的功耗设计，超低的空载电力消耗。

平稳：不波动，保持不间断的平稳电流输出。

快速：电压侦测须灵敏，具有快速的反应时间。

磁控反应溅射绝缘体看似容易，而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面，也发生在阳极，真空腔体表面，真空，以及靶源表面。从而引起灭火，靶源和工件表面起弧等。其原理是一对靶源互相为阴阳极，从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源（磁控，多弧，离子）所必需，因为能量很大一部分转为热量，若无冷却或冷却不足，这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。

真空热处理炉是近年来得到较大发展的***热处理设备，工件是在超低气压的空间里进行加热和冷却的。它具有质量好、节能、安全和污染少等优点。

真空炉的发热体用低压电，但电源电压仍为380V，操作时仍需要安全用电。

真空炉制造时，应确保不漏气、不漏水。真空炉炉体和炉盖等的密封是用橡胶件，真空薄膜，因此需要用水隔层进行冷却。若水漏到炉膛里时，炉膛温度很高，会引起炸裂。真所以真空炉装料后应关闭炉门，将炉膛抽成真空后，方可通电加热。