世界***早生产制氧机的***是德国和法国。
1901年，德国的林德公司在慕尼市建立低温设备制造车间，呼伦贝尔制氧微纳米气泡一体机销售，并在1903年生产出第1台10m3/h制氧机。
1902年，高原制氧微纳米气泡一体机销售，法国在巴黎建立空气液化公司，继德国之后，于1910年开始生产制氧机。
在三十年代以前，基本上只有德国和法国能生产制氧机。当时制氧机主要只能满足焊接、切割用氧及化工所需的制氮设备。生产的制氧机为主要为中、小型，其容量为2m3/h~600m3/h，品种约200种。采用的制氧机流程为高压和中压流程。
工艺说明
变压吸附制氧机主要由鼓风机、真空泵、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后，被罗茨鼓风机增压至0.3-0.5barg而进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂，其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附，水产养殖制氧微纳米气泡一体机销售，随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包括气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐。
当该吸附器吸附到一定程度，其中的吸附剂将达到饱和状态，此时通过切换阀利用真空泵对之进行抽真空(与吸附方向相反)，真空度为0.65-0.75barg。已吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分被抽出并排至大气，吸附剂得到再生。
变压吸附制氧机的每个吸附器都交替执行以下步骤:
---吸附---解吸---冲压
上述三个基本的工艺步骤由PLC和切换阀系统来实现自动控制。折叠
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工艺说明编辑如右述流程图所示：制氧系统主要由空气压缩机、空气冷却器，空气缓冲罐、切换阀、吸附器和氧气平衡罐组成。原料空气经吸入口过滤器除掉灰尘颗粒后，被空气压缩机增压至3~4barg而进入其中一只吸附器内。吸附器内装填吸附剂，其中水分、二氧化碳、及少量其它气体组分在吸附器入口处被装填于底部的活性氧化铝所吸附，随后氮气被装填于活性氧化铝上部的沸石分子筛所吸附。而氧气(包括ya气)为非吸附组分从吸附器顶部出口处作为产品气排至氧气平衡罐。当该吸附器吸附到一定程度，其中的吸附剂将达到饱和状态，此时通过切换阀放空，已吸附的水分、二氧化碳、氮气及少量其它气体组分排至大气，吸附剂得到再生。PSA的每个吸附器都交替执行以下步骤:---吸附---解吸---冲压上述三个基本的工艺步骤由PLC和切换阀系统来实现自动控制。
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