汉南特种气体-鑫和丰(在线咨询)

高纯氮气主要运用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。

一、氢气性质

1、氢气是一种无色、无嗅、无l毒、******的气体，和氟、氯、氧、***以及空气混合均有爆l炸的***。其中，氢气在空气中爆l炸极限：4.0%-75%（体积）；氢与氟的混合物在低温和黑暗环境就能发生自发性爆l炸；与氯的混合比为1：1时，在光照下也可爆l炸。

2、氢由于无色无味，燃烧时火焰没有颜色，肉眼不易察觉，在许多情况下向氢气中加入***，以便感官察觉，并可同时付予火焰以颜色。

3、氢虽无l毒，在生理上对***是惰性的，但若空气中氢含量***，将引起缺氧性窒息。

4、与所有低温液体一样，直接接触液氢将引起冻l伤。

5、液氢外溢并突然大面积蒸发还会造成环境缺氧，并有可能和空气一起形成爆l炸混合物，引发燃烧爆l炸事故。

3.出气速率

材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质，如氮、碳氢化合物等，在高纯气体输送过程中，特种气体，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。

4.吸附性

由于水分等杂质是极性分子，吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质，铜材对水吸附性极强，使用这些材料输送高纯气体易被污染，除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外，高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料（包括聚四氟乙烯）。