江苏真空管道安装-真空管道安装-苏州珂锐弘扬

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，******气体多，原来是一机台配一气柜，苏州真空管道安装，高昂的装备组合和维修费用大大增加了***成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，真空管道安装，工作的安全性大大提高。

气路系统百科知识

一、气瓶间。

　　1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。

　　2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;

　　3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;

　　4、还应设立***报警系统。

　　二、色谱室。

　　1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，江苏真空管道安装，以便于安装、操作和检修为布置原则;

　　2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;

　　3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;

　　4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;

　　5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;

　　6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。

特种气体管道流程

其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工***编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收

1.预制间的选择

特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。按照标准，预制作业需要在洁净度达到百级的净化间进行，作业人员也按照百级净化间的管理着装。因此对于大宗特气项目，一般都建有一个标准的预制间。

但我们在实际的施工中，大宗特气项目很少，一般都是简单系统和常规系统，为了节约成本和资金，在要求不是很高的情况下、一般采用在施工现场找一块相对洁净的房间采取一定的防尘措施就地施工，除作业人员和检察人员外，应禁止无关人员出入。如果业主要求比较严格，也采用彩钢板搭设一个简单的预制件，房间内铺上地板革，在屋中用洁净塑料布封出一块装上两台层流罩，做一个简单的净化空间，进行管道的预制工作。

2.主要的施工机具

特种气体管道的主要施工机具有:全自动轨道焊机(D100、MIOO等)管道切割机(GF锯)、管子割刀、平口机、弯管器、倒角器、管口毛刺修理刮i刀、有的需要配置电源稳压器、防止施工现场电流波动对焊接质量造成影响、台虎钳、配电箱、拖线盘、台钻、电钻、冲击钻、切割机、电焊机、其他辅助工具。