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东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源***机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密***机系统的现代化企业。
***的触摸式人机界面控制方式，使用更为方便，同时提供了较完善的生产管理系统.
配置有:UV能量计算器之***量控制系统;自我诊断功能及故障提示之监控系统;干式真空泵浦的真空装置（正常真空压力650mm/hg以上）等系统.
紫外线***机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.***机即电子束***机是集电子光学，电气，机械，真空，计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.广泛应用于半导体，微电子，生物器件和纳米科技领.
对于波长更短的深紫外光光源，可以使用准分子激光.例如KrF 准分子激光（248 nm），ArF 准分子激光（193 nm）和F2准分子激光（157 nm）等.
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