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双频激光干涉仪

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展而来的一种外差式干涉仪。

在激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生f1和f2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束，另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时，激光干涉仪定制电话，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因***效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(***效应是奥地利人C.J.***提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片 2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整1形器后进入减法器相减，双频激光干涉仪价格多少钱，输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，合肥激光干涉仪，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

国内双频激光干涉仪生产企业主要有北京镭测科技有限公司，该公司的产品技术和工作人员主要来自于清华大学精密测试技术及仪器******实验室，拥有自主知识产权，技术指标达到或优于国外产品同等水平。

激光干涉仪产品功能特点

测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，激光干涉仪定制，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性***精度、重复***精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。