电子工业废气排放风量大，浓度低。以半导体制造为例，其工艺过程中有机废气排放流量大于10000m3/h，浓度低于25ppmv，电子工业废气VOCs排放中还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体。
针对电子行业VOCS排放特点，结合电子工业废气VOCS治理新技术，对电子终端产品企业，多采用活性炭吸附，整机机壳表面喷涂再增加除漆雾装置；特别是半导体企业，有机废气处理一般还含有酸性气体、碱性气体和一些有***体，治理技术多采用组合方式，前端通过喷淋塔淋洗，再经VOCS废气处理催化燃烧装置【沸石转轮吸附浓缩 催化燃烧】，VOCS去除率可达到98%。
低温等离子体
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、 自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，废气处理设备厂家，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
低温等离子体空气净化设备能够显着治理的污染有： VOC、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于杀菌。低温等离子体技术是一种全新的净化过程，废气处理设备厂，不需要任何 添加剂、不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
产品工艺工艺概要喷淋净化光触媒控制系统蓄热催化燃烧RCO蓄热式热力焚化炉RTO碳吸附装置移动式焊接烟雾净化器光解油烟净化器废气处理设备的分类。
废气处理设备的分类：
吸收设备
吸收法选用低蒸发或不蒸发性溶剂对VOCs进行吸收，废气处理设备价格，再运用VOCs和吸收剂物理性质的差异进行分离。
含VOCs的气体自吸收塔底部进入塔内，在上升进程中与来自塔顶的吸收剂逆流触摸，净化后的气体由塔顶排出。吸收了VOCs的吸收剂通过热交换器后，进入汽提塔顶部，在温度高于吸收温度或压力低于吸收压力的条件下解吸。解吸后的吸收剂通过溶剂冷凝器冷凝后回到吸收塔。解吸出的VOCs气体通过冷凝器、气液分离器后以较纯的VOCs气体脱离汽提塔，被收回运用。该工艺适合于VOCs浓度较高、温度较低的气体净化，其他情况下需求作相应的工艺调整。
吸附设备
在用多孔性固体物质处理流体混合物时，流体中的某一组分或某些组分可被吸外表并浓集其上，此现象称为吸附。吸附处理废气时，吸附的对象是气态污染物，气固吸附。被吸附的气体组分称为吸附质，废气处理设备，多孔固体物质称为吸附剂。
固体外表吸附了吸附质后，一部被吸附的吸附质可从吸附剂外表脱离，此现附。而当吸附进行一段时间后，因为外表吸附质的浓集，使其吸附才能显着下降而吸附净化的要求，此刻需求选用必定的措施使吸附剂上已吸附的吸附质脱附，以协的吸附才能，这个进程称为吸附剂的再生。因而在实践吸附工程中，正是运用吸附一再生一再吸附的循环进程，达到除去废气中污染物质并收回废气中有用组分。
