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无尘车间净化技术的设备发展
美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把***比例压缩到高ji别的微环境，简易无尘室，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。
检漏方法常用的是DOP法检漏（即采用DOP溶剂作为尘源，与气溶胶光度计配合检漏），也可用尘埃粒子计数器扫描法来检漏（即采用大气尘作为尘源，与粒子计数器配合检漏）。由于粒子计数器读数为累积读数，不利于扫描，巡检速度慢；另外，在被测***过滤器上风侧，万级无尘室，往往大气尘浓度较低，无尘室厂家，需补充发烟才易发现泄漏，粒子计数器法检漏的的这些不足DOP法恰恰可以弥补，故国外广泛采用DOP法检漏。
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