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东莞市至成真空科技有限公司

普通会员6
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公司官网:www.zhichenggd.com
企业地址:东莞市万江区流涌尾工业区汾溪路450号
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东莞市至成真空科技有限公司服务于中国真空制造业各领域,我公司是一家**真空应用及设备研发制造的高科技企业。经营有:真空镀膜设备、中频离子镀膜设备、多弧离子镀膜设备、真空电镀机、镀金真空电镀机、实验室专用镀膜机。东莞市至成真空科技有限公司拥有一批真空行业**、工程师及**服务人员。致力于真空设备的研发......

中频离子镀膜设备-离子镀膜设备-至成镀膜设备

产品编号:1181687110                    更新时间:2020-01-17
价格: 来电议定
东莞市至成真空科技有限公司

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  • 主营业务:真空镀膜设备,中频离子镀膜设备,多弧离子镀膜设备等
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卷绕真空镀膜机结构设计应该注意的几个问题


真空镀膜机使用的行业不一样,它的机型是不一样的,那么它的结构设计也是有很大的差别。在设计真空镀膜机的时,我们都是要考虑到很多因素,比如:要镀的物件大小,使用的材质,以及它的热点,和其他的一些细节注意事项等,都会影响真空镀膜机的结构设计,那么卷绕真空镀膜机结构设计应该注意那几个问题呢?下面至成真空小编,为大家详细介绍一下:

1、提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜技术的发展,卷绕速度有待提高。

2、带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要,因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定,才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜(如电容器膜)尤为重要。


3、带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高,带状基材在卷绕镀膜过程中,起褶和发生偏斜,严重时会造成基材的断裂,使生产中断,既影响生产效率,又浪费材料。因此,在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。

卷绕镀膜机真空抽气系统分上室下室两组,下室为蒸镀室,要求真空度高,主泵多为油扩散泵。上室为基材卷绕室,要求真空度较低,为罗茨泵机组或扩散泵一罗茨泵一机械泵组。一般蒸镀室要达到的真空度为1x10^-3Pa—2×10^-3Pa,而工作压力为1×10^-2Pa—2×10^-2Pa,而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。有时卷绕镀膜机以增扩泵(油扩散泵的一种)为主泵,它的极限压力虽然不及油扩散泵,但其抽速范围向高压方向延伸一个数量级,非常适宜此类蒸发的镀膜过程。



PVD真空镀膜机镀膜技术工艺步骤及原理


厂家在采购PVD真空镀膜机时,商家都会培训PVD真空镀膜机的相关知识,如镀膜技术工艺步骤、原理、***维护方法,机器的运行注意事项等等,今天至成小编为大家介绍一下PVD真空镀膜机镀膜技术工艺步骤和原理。

PVD真空镀膜机镀膜技术工艺步骤,分为以下四个步骤:

(1)清洗工件:接通直流电源,Ar气进行辉光放电为Ar离子,Ar离子轰击工件表面,工件表层粒子和脏物被轰溅抛出;

(2)镀料的气化:即通入交流电后,使镀料蒸发气化。

(3)镀料离子的迁移:由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞以及高压电场后,高速冲向工件;

(4)镀料原子、分子或离子在基体上沉积:工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘附于工件表面的镀层。

如果是镀离子镀时,蒸发料粒子电离后具有三千到五千电子伏特的动能,高速轰击工件时,不但沉积速度快,而且能够穿透工件表面,形成一种注入基体很深的扩散层,离子镀的界面扩散深度可达四至五微米,也就是说比普通真空镀膜的扩散深度要深几十倍,甚至上百倍,因而彼此粘附得特别牢。



光学真空镀膜设备该如何进行***


光学真空镀膜设备主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜(控制电柜、电子枪电枢)组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方面具有***的性能。

光学真空镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成腊层。


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