真空镀膜机磁控溅射主要工艺流程：
1、基片清洗，主要是用蒸汽清洗，随后用乙醇浸泡基片后快速烘干，以去除表面油污；
2、抽真空，真空须控制在2×104Pa以上，以保证薄膜的纯度；
3、加热，为了除去基片表面水分，提高膜与基片的结合力，需要对基片进行加热，温度一般选择在150℃~200℃之间；
4、Ar气分压，一般选择在0.01~1Pa范围内，以满足辉光放电的气压条件；
5、预溅射，预溅射是通过离子轰击以除去靶材表面氧化膜，以免影响薄膜质量；
6、溅射，Ar气电离后形成的正离子在正交的磁场和电场的作用下，高速轰击靶材，使溅射出的靶材粒子到达基片表面沉积成膜；
7、退火，薄膜与基片的热膨胀系数有差异，结合力小，退火时薄膜与基片原子相互扩散可以有效提高粘着力。
真空镀膜机磁控溅射镀膜的特点：薄膜纯度高，致密，厚度均匀可控制，工艺重复性比较好，附着力强。
依据溅射源的不同，真空镀膜机磁控溅射有直流和射频之分，两者的主要区别在于气体放电方式不同，真空镀膜机射频磁控溅射利用的是射频放电，陶瓷产品使用的是射频磁控溅射镀。
真空PVD镀膜涂层工艺冷却如何进行？
1.高阀关闭，真空计关闭，真空室与泵组隔离；
2.当操作人员按下N2vent按钮，预先接好的氮气会通过N2充气阀充入真空室，当真空室内的压力达到压力开关预设的压力时，N2充气阀关闭。
3.真空室内充入了大量N2，真空度很低，更加有利于热传导，所以降温速度比不充冷却N2时快很多，缩短冷却时间，提高生产效率，实际冷却时间可由原来的90分钟缩短为60分钟。
4.由于氦气的热传导率更高，所以充入冷却氦气比氮气降温速度更快，但是成本也更高。
5.国外设备快速冷却程序，通过冷却气体的循环冷却，能缩短冷却时间50%。
为什么要进行压升率测试？
真空环境条件是影响***终涂层质量重要的因素。镀膜前，必须进行压升率测试，以保证真空环境条件满足镀膜标准。
怎样进行压升率测试？
在我们的自动镀膜工艺中，压升率测试是自动进行。当真空室内真空度达到工艺设定的本底真空后，进入压升率测试步骤。
系统会自动关闭高阀，此时真空室与泵组隔离，真空室内压力会升高。在一定时间内（一般1分钟），如果压力不超过设定的报警值，系统会自动进行下一步程序，进入镀膜步骤。如果压力超过设定的报警值，系统会有报警提示，此时，操作人员应按照操作流程，再次进行抽真空和加热烘烤，然后重复进行压升率测试，直至压升率满足镀膜条件。
多弧离子真空镀膜机工艺如何运用到刀具行业
很多人对多弧离子真空镀膜机其实并不太了解，更不了解镀膜设备的工艺如何运用到刀具行业，很多客户都有这样的疑惑，也经常会问我们这方面的问题，特别是对真空设备的爱好者，今天至成真空小编为大家详解介绍一下多弧离子真空镀膜机工艺如何运用到刀具行业。
为了满足镀膜制和各种多层薄膜及复合化合物薄膜的要求，多功能多弧离子镀膜已成为目前研究发展的方向。多弧离子镀膜设备采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法。多弧离子镀膜采用孪生靶的***技术，克服直流溅射固有的打火等不良弊病，使镀件的耐蚀性能又有所提高和改善。
多弧离子镀膜的中心安装柱状多弧靶，靶材为钛或锆。它不但能保持多弧技术离化率高、沉积速率高的特点，还能有效地降低平面多弧靶沉积过程中很难避免的“液滴”的缺陷，从而可以制备出低孔隙率的金属薄膜或化合特薄膜；在周边安装了孪生平面磁控靶，靶材为铝或硅；中外，在周边安装多个平面多弧蒸发源，靶材为铬或镍，可以镀制多层金属膜和多层复合膜。复合式离子镀膜设备由于具有多种不同形式镀膜装置及不同材质的蒸发源及发射靶，它们既可以***地分别工作又可以同时工作，既能制备纯金属膜又能制备金属化合物膜或复合材料膜；既能制备单层薄膜又能制备多层复合膜，用途极其广泛。
