







真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,能达到1mmHg较好。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
真空镀膜机的检漏方法
真空镀膜机厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法,简称检漏,真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的,所以检漏是必不可少的。
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生,当抽气系统抽气后使真空室内压强降低,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,形成真空度降低。真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中,需求注意一些问题,才能把检漏作业做好。
真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法
随着镀膜技术的快速增长,各种类型的真空镀膜机也开始逐渐出现。但是论起薄膜的均匀性,恐怕所有的真空设备镀制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。
对此,真空镀膜机厂家指出,它的运作原理其实很简单。就是通过真空状态下正交磁场使电子轰击Ar气形成的Ar离子再轰击靶材,靶材离子沉积于工件表面成膜。如此车灯镀膜机厂家就该考虑与膜层厚度的均匀性有关的有真空状态、磁场、Ar气这三个方面。
真空状态就需要抽气系统来控制的,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就可以控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。
