真空系统。是由真空泵、PLC程序操控系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。现在，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等职业。该真空系统出厂时现已包含了抽速操控、进气过滤、首要运转数据显现、运转维护及长途操控接口等。只需要在现场进行简略的连接电源和管道，即可以组成一个完好的真空系统。该真空系统的操控系统由***的PLC操控系统通过编程后组成，以触摸屏为人机界面，完成对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和履行、报警维护系统等的全自动化操控。
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