无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,无尘室设备搬迁作业方案,而所给予特别设计之房间。
工业无尘室用途——以无生命微粒的控制为对象。无尘室(无尘厂房)主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多种不同行业。
无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
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