吸附的平衡压力比相同温度下的蒸气压力低得多。如在 20K时氢的蒸气压力等于大气压力,用 20K的活性炭吸氢时吸附平衡压力则低于10-8 帕。这样就可能在较高温度下通过低温吸附来进行抽气。③低温捕集:在抽气温度下不能冷凝的气体分子,沈阳真空设备采购,被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。一般说来,泵的极限压力就是冷板温度下的被冷凝气体的蒸气压力。温度为120K时,沈阳真空设备生产商,水的蒸气压已低于10-8帕。





磁控溅射镀膜的特点:
磁控溅射镀膜技术通过磁场的加入,改变并延长电子的运动轨迹,使其能与***气充分的碰撞,沈阳真空设备,电离出更多的Ar 轰击靶材,从而提高了溅射速率;受到正交电场和磁场共同作用的电子,在能量基本耗尽时,才沉积到基片上,避免了基片的温度上升。
这就造就了磁控溅射的两大优点:溅射速率高,基片温度低。另外,通过磁控溅射工艺得到的薄膜与基片的附着力强,薄膜的牢固度很强。
为了减少液氦消耗,液氦容器的外壁采用双层保温壁并在其间抽成真空。当泵被预抽到10-6帕压力时灌入液氮和液氦,气体凝结在4.2K的工作冷板上。经预抽使氦氢分压到10-12帕数量级,故泵可获得10-11帕以下的极限压力。如果把液氦容器抽真空减压到6650帕,液氦温度可降到2.3K,则可得到更低的极限压力。
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