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常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式:①辉光放电;③介质阻挡放电;④射频放电;⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生危险。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。

废气处理方法

生物滤池式脱臭法

脱臭原理:恶臭气体经过去尘增湿或降温等预处理工艺后，从滤床底部由下向上穿过由滤料组成的滤床，恶臭气体由气相转移至水-微生物混和相，通过固着于滤料上的微生物代谢作用而被分解掉。适用范围:目前研究最多，工艺最成熟，在实际中也最常用的生物脱臭方法。又可细分为土壤脱臭法、堆肥脱臭法、泥炭脱臭法等。

优点:处理费用低。缺点:占地面积大，填料需定期更换，脱臭过程不易控制，VOCs有机废气治理，运行一段时间后容易出现问题，烤漆废气治理，对疏水性和难生物降解物质的处理还存在较大难度。

生物滴滤池式

脱臭原理:原理同生物滤池式类似，不过使用的滤料是诸如聚丙烯小球、陶瓷、木炭、塑料等不能提供营养物的惰性材料。适用范围:只有针对某些恶臭物质而降解的微生物附着在填料上，而不会出现生物滤池中混

优点:和微生物群同时消耗滤料有机质的情况。缺点:池内微生物数量大，能承受比生物滤池大的污染负荷，废气治理，惰性滤料可以不用更换，造成压力损失小，而且操作条件极易控制 需不断投加营养物质，而且操作复杂，使得其应用受到限制。

截至2013年，对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子(原子)发生撞，将能量转换成基态分子(原子)的内能，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键，生成一些单分子和固体微粒;另一力生.OH、H2O2.等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，离子的热运动只有，常压下，气体放电产生的高度非平衡等离子体中电子温层氏度)远高于气体温度(室温100℃左右)。在非平衡等离子体中可能发生各种类型的化学反应，主要决定于电子的平均能量、电子密度、气体温度、有害气体分子浓度和≥气体成分。这为一些需要很大活化能的反应如大气中难降解污染物的去除提供了另外也可以对低浓度、高流速、大风量的含挥发性有机污染物和含硫类污染物等进行处理。