







蒸发真空镀膜机的原理及性能,你了解多少?
电镀设备真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。对于大面积镀膜,常采用旋转基片或多蒸发源的方式以保证膜层厚度的均匀性。膜厚决定于蒸发源的蒸发速率和时间(或决定于装料量),并与源和基片的距离有关。从蒸发源到基片的距离应小于蒸气分子在残余气体中的平均自由程,以免蒸气分子与残气分子碰撞引起化学作用。排气系统一般由机械泵、扩散泵、管道和阀门组成。目前所用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、感应加热、电弧加热和激光加热等多种形式。蒸气分子平均动能约为0.1~0.2电子伏。薄膜厚度可由数百埃至数微米。
为了提高镀层厚度的均匀性,真空室内的镀件夹具有行星机构或自转加公转的运动装置,如用行星运动方式,这种运动方式成膜均匀性好,台阶覆盖性能良好,镀件装载量大,可以充分利用真空镀膜室的有效空间,是目前经常采用的运动方式。蒸发镀膜机主要由真空室、排气系统、蒸发系统和电气设备四部分组成。
汽车照明镀膜设备有什么特点
设备的主要功能包括:高压离子轰击,在真空室内一次完成镀铝和加镀超硬保护膜(SiO)。超硬保护膜提高了铝层的抗氮化能力和保持铝层长久的高反射率。至成提供用于汽车灯或室内照明行业的3D零部件的设备和真空镀膜工艺。例如汽车头灯和尾灯、汽车后视镜、室内照明等。反射性镀膜及疏水性镀膜(荷花效应)工艺典型应用于汽车头灯尾灯和室内照明。
应用组合包括溅射、和热蒸发的反光和装饰性的金属层的表面涂层防腐采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。进一步的应用是通过反应磁控溅射,透明层的表面工程,如擦拭层和易于清洁层(具有莲花效应),层堆栈为汽车后视镜和银层堆的反射率。
真空镀膜设备维护和***方法:
(1)真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法是:用(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,(注意***皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
(2)当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。
方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
