真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4
、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要
求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵有很高的抽速,但
不能抽氦,真空泵,而三极型溅射离子泵,
(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,
两者组合起来,
便会使真空装置得到较好的真空度。
另外,
有的真空泵不能在大气压下工作,
需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,真空泵厂家,故都需要把泵组合起来使用。
5
、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、
分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油
污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
水环泵中,


辅助排气阀是一种特殊结构,
一般采用橡皮球阀,
它的作用是消除泵在运转过程中产生的过压缩与压缩不足的现象。
这两种现象都会引起过多的功率消耗。因为水环泵没有直接的排气
阀,而且排气压力始终是固定的,水环泵的压缩比决定于进气口的
终止位置和排气口的起始位置,然而这两个位置是固定不变的,因
而不适应吸入压力变化的需要。


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(3) 扩散泵 :以低压高速蒸汽流(油或等蒸汽)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:
① 自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵
② 分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴,而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
(3) 扩散泵 :以低压高速蒸汽流(油或等蒸汽)作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:
① 自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵
② 分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,水环式真空泵,使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴,而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
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