






兴之扬咖啡机不锈钢网片小编来向大家说说干式蚀刻时主要须注意的方面有哪些?
干式蚀刻时主要须注意蚀刻速率、均匀度、选择比及蚀刻轮廓等。蚀刻速率越快,则产能越快,有助于降低成本提升竞争力。蚀刻速率通常可由气体种类、流量、电浆源及功率等所控制,一般而言,在其它因素尚可接受的范围内,蚀刻速率越快越好。均匀度是晶圆上不同位置蚀刻差异的一个指标,均匀度越好意谓着有较佳的良率,当晶圆尺寸越来越大,均匀度的控制就显得更加重要。控制选择比通常与气体种类与比例、电浆源及功率、乃至于反应温度均有关系。蚀刻轮廓一般而言以接近90度为佳,除了少数特例,如接触窗(ContactWindow)或引洞(ViaHole),为了使后续金属溅镀能有较佳的覆盖能力(StepCoverage),因而故意将其轮廓蚀刻成小于90度的型态。而通常蚀刻轮廓的控制可藉由调变气体种类与比例、电浆源及功率等来进行。
什么叫酸性蚀刻?
酸性蚀刻也叫氯化铜酸性蚀刻系统,通常使用于单面板蚀刻,多层板的内层蚀刻或Tenting流程的外层蚀刻上,因这些制程都用干膜或液态感光油墨作为蚀刻阻剂,而这几种感光材料相对而言均为耐酸不耐碱性的特性,故选用酸性蚀刻。
酸性蚀刻的种类:1.H2O2/HCI系列。2.NaCIO3/HCI系列。
酸性蚀刻制作流程:1、单面板:铜面前处理→印刷线路烘烤→固化酸性蚀刻→去膜2、内层和外层(Tenting流程):铜面前处理→压膜→爆光→显影→酸性蚀刻→去膜。
兴之扬***T蚀刻不锈钢网小编给大家介绍点蚀缝隙腐蚀是什么?
在电解液中,金属与金属或金属与非金属表面之间构成狭窄的缝隙,缝隙内有关物质的移动受到了阻滞,形成浓差电池,从而产生局部腐蚀,这种腐蚀被称为缝隙腐蚀。缝隙腐蚀常发生在设备中法兰的连接处,垫圈、衬板、缠绕与金属重叠处,它可以在不同的金属和不同的腐蚀介质中出现,从而给生产设备的正常运行造成严重障碍,甚至发生***事故。对钛及钛合金来说,缝隙腐蚀是***应关注的腐蚀现象。介质中,氧气浓度增加,缝隙腐蚀量增加;PH值减小,阳极溶解速度增加,缝隙腐蚀量也增加;活性阴离子的浓度增加,缝隙腐蚀敏***升高。但是,某些含氧阴离子的增加会减小缝隙腐蚀量。
