沉积过程分为三步:
1．真空条件下， 以120℃将固态粉末状的对的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加热汽化;
2．以650℃ 将气态的对的二聚物 ，手机纳米镀膜，裂解为对 (para-xylylene) 的 活性单体(monomer);
3．气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对 (Poly-para-xylylene )的薄膜。
气态单体进入沉积腔室，首先弥漫在工件表面，当吸附到各个表面后开始聚合和结晶，直接形成固体，避免了液相的出现，清除了厚度的不均匀和涂层的缺陷。（应用LED行业、电子行业、、印刷电路板、微电子、磁性行业、半导体、橡塑产品、保护、特殊领域）工能:绝缘强和耐高温，抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、透明、防水、抗老化。
Parylene的隔离特性.再一次将水蒸汽渗透率与其它覆形涂敷材料相比较。ParyleneC的性能几乎超过了所有其它的聚合材料。水蒸汽渗透能力值是在低于0.1微米的厚度下测量的。等量厚度化以后，纳米镀膜公司，这个数值对于所有的厚度都是相同的。
Parylene的原理是用独特的真空气相沉积工艺（CVD技术）制备，纳米镀膜，由活性小分子在基材表面"生长"出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，号称"无孔不入"可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今世界的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。
因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面，已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中，为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍；在机械制造业中，真空镀膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料，纳米防水镀膜，如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造，而是采用价格低廉易加工材料，成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温，耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件，既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3～6倍，从而节省了大量的高速钢材。
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