无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0。
房间
尽可能（maybe)选择宽敞、明亮的房间。一般有内外两间，外间作***准备室，用来放盆器械柜，装有简单洗手设备，内间作***室，房间面积至少应能够放一张***的床、一个器城台和容纳***人员活动.房门应宽大，以便抬送受术者。
光线
***室一般阳光充足.如无日光，可用电灯光、立式地灯，必要时也可用煤气(Coal Gas)灯或手电光照明。
地面
***间地面力求平整光滑。术前应该用水冲刷地面或在地面洒水，以防尘土飞扬，污染***野。
车间的设计是综合考虑空气净化系统的布置、流型的选择和管道系统的布置等，进行建筑物平面和断面的设计，并在工艺步骤的基础上，正确处理洁净室与非洁净室和不同洁净室之间的关系，使要求洁净度高、洁净度要求低的房间处于正压状态，提高气密性。还要注意建筑物内部的噪声控制，隔离外部噪声干扰，注意防火，以及紧急情况下人员的安全疏散。人员和材料入口应分开设置，以避免人员和物流线之间的往返。纯化流线应清晰，短而且经过反纯化。
