






兴之扬蚀刻电视304不锈钢网小编来给大家讲解干法蚀刻电浆形成之原理:
电浆的产生可藉由直流(DC)偏压或交流射频(RF)偏压下的电场形成,如图5-3所示,而在电浆中的电子来源通常有二:一为分子或原子解离后所产生的电子,另一则为离子撞击电极所产生的二次电子(SecondaryElectron),在直流(DC)电场下产生的电浆其电子源主要以二次电子为主,而交流射频(RF)电场下产生的电浆其电子源则以分子或原子解离后所产生的电子为主。
在电浆干法蚀刻中以直流方式产生辉光放电的缺点包含了:1)需要较高的功率消耗,也就是说产生的离子密度低;2)须要以离子撞击电极以产生二次电子,如此将会造成电极材料的损耗;3)所需之电极材料必须为导体。如此一来将不适用于晶圆制程中。
在射频放电(RFDischarge)状况下,由于高频操作,使得大部份的电子在半个周期内没有足够的时间移动至正电极,因此这些电子将会在电极间作振荡,并与气体分子产生碰撞。而射频放电所需的振荡频率下限将视电极间的间距、压力、射频电场振幅的大小及气体分子的解离位能等因素而定,而通常振荡频率下限为50kHz。一般的射频系统所采用的操作频率大都为13.56MHz。
蚀刻时间控制对不锈钢蚀刻片有哪些影响?
当蚀刻液中其他条件不变的情况下.温度在65℃左右.约lmin即可在不锈钢表面形成均匀纹理.在2min左右达到理想效果。
个别不锈钢这一效果需要4min.比如某些防锈不锈钢,像蚀刻加工过滤网、不锈钢过滤片时就需要4min。从总的情况来看.延长处理时间.不锈钢表面纹理粗糙度和均匀性都增加,但达到较大粗糙度后,再延长时间并不能使不锈钢表面纹理粗糙度再增加,反而会使不锈钢的蚀刻量增大,溶液中有效成分损失增大,增加生产成本,造成不锈钢件过量蚀刻,导致工件报损.且处理时间过长还会***纹理效果.使纹理蚀刻失败。
如果处理时间太短,虽然铝的蚀刻量减少。溶液有效成分损失减少,但纹理形成均匀性降低,且粗糙度降低。一般以1–2min为宜。对于不同不锈钢,通过样品蚀刻确定蚀刻加工时间很重要。
304蚀刻不锈钢带的介绍方法
304蚀刻不锈钢带日本于2003年开端研制的面向市场的200系列不锈钢,当前的首要出产厂家为NTK,其产物按含镍量的分歧分为NTK-D10,NTK-D9和NTK-D7等商标。NTK-D7是一种含镍量比304低、含锰量比304高并含铜的奥氏体不锈钢。因为锰的很多参加,镍含量降低到2%~4%,然则,因为铬含量为16%~18%,能包管不锈钢应有的耐蚀性,具有和304根本一样的机械功能和耐侵蚀性。NTK-D7的大问题是废钢治理。因为NTK-D7钢没有磁性,在废钢收受接管时很难与304分隔。因而,早年期的运用到废钢的分类必需树立1套科学的系统治理系统,以处理高锰、高磷、含铜废钢的再生问题。
