电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？
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真空测量：采用数显复合真空计（两只电阻规测量低真空，电子束蒸发镀膜设备生产厂家，一只电离规测量高真空）， 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。
断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。
电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
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设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，DZS450型电子束蒸发镀膜设备生产厂家，抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束蒸发镀膜机的技术特点
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1、样品台：水冷样品座，样品座高度可调，便于调整蒸距。调节范围：样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪：电子枪功率6kW可调（满足金属、绝缘材料高速蒸发）4穴水冷坩埚（适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好）。为保持E型电子枪蒸发绝缘稳定性，配制高品质束流扫描控制器，具有多种供控制程序进行选择的预设模式，DZS500型电子束蒸发镀膜设备生产厂家，方便于操作、实验数据积累。配套相应蒸发坩埚内衬，以适应不同材料，确保蒸发速率稳定性，重复性.
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