




电子洁净厂房工艺给水主要有工艺冷却水及纯水。工艺冷却水主要应用于各种工艺设备的冷却。由于工艺设备内的冷却管道有很多为管径很细的毛细管道,为避免毛细管道的结垢,对工艺冷却水的水质也提出了相应的要求。
纯水主要应用于各种电子产品的清洗,纯水的使用可以避免水中杂质对电子产品的污染。应用于电子厂房的纯水的主要特点不只是水的电阻率高,还对颗粒度、总有机碳(TOC)、总硅、溶解氧(DO)、以及各种离子的含量有不同的要求。工艺冷却水管道的选择,半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞,对工艺冷却水水质提出了要求。
Clean-PVC及洁净PP已不能满足其要求,而PVDF管道的溶出物及管道内壁光洁度都远强于Clean-PVC及洁净PP,故而只能选择PVDF管道。在国内的半导体生产中也有8英寸采用Clean-PVC管道的成功案例,但经过实测分析后发现,这类生产厂的产品都是从6英寸升级至8英寸的,也就是在6英寸纯水管道系统运行若干年后升级为8英寸的,而Clean-PVC管路系统经过长时间运行后,其溶出的离子呈逐步减少的趋势。