镀膜设备类型：
—空气：(1)进口和出口区配备动态锁定辊系统，确保带材不间断运动(2)带材缓冲器、连接和分离装置以及放置于镀膜机前、后端大气中的放卷机和收卷机，以保证连续生产(3)生产周期仅受限于靶材/真空腔体内蒸发物储存量
—分批式：(1)真空工艺区入口和出口处连接的卷轴装载锁定腔体，使用带材阀隔开(2)可在不中断工艺真空的前提下装载和卸载卷轴(3)生产周期为1卷轴的时间，然后停止，进行卷轴更换；带材废料长度约为工艺部分的两倍(4)电子束工艺配备额外的档板，用以补偿卷轴更换
镀膜模式：单面镀膜：(1)所有镀膜工具均位于带材的一侧(2)使用电子束(EB)工艺时，（一般情况下）带材的底侧将被镀膜双面镀膜：(1)镀膜工具均位于带材的一侧，卷材改变走带方向(2)需要二次镀膜与传动装置配备
非接触式镀膜选项针对敏感的光学镀膜，提供非接触式机器概念。
汽车发动机部件涂层设备
至成镀膜机厂家碳基的汽车发动机部件涂层设备DLC涂层应用于阀门和曲轴区域零部件，可减少高达40%的润滑操作中的摩擦损失。优良的干润滑性能也弥补了减少的润滑剂，直到油膜达到满负荷并允许在没有磨损情况下频繁的启停。
汽车发动机部件涂层真空镀膜机通过降低摩擦和磨损服务于高负荷和高应力部件，在之前只能通过减少零部件的尺寸和减少部件组成和材料组合才能实现。这导致的材料和装配成本的节省超过了涂层成本。
真空镀膜设备维护和***方法：
（1）真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法是：用（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意***皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
（2）当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。