干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；
在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止造成污染，适合用干式真空泵；
用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
真空设备无论大小都属于精密机械设备，这点很重要。拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，一定不能用大锤去敲。清洗零件时要干净，彻底，以便于发现问题和查出隐患。真空泵类产品与一般机械产品有较大区别，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易伤手应多加小心，切记。真空状态下，气体稀薄程度称为真空度，通常用压力值来表示真空度的高低。千万别把楞角倒去。检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任何细微的地方都可能是问题所在，所以不能存在侥幸心理。
电子束烧结技术是***近发展起来的一种新兴***制造技术。它具有能量利用率高、无反射以及真空环境无污染等优点，可实现近形成型与快速制造。
它的出现被认为是近年来制造技术领域内的一次突破，其对制造业的影响可与数控技术的出现相媲美。
同时它也是一种在“分层制造”思想的基础上发展起来的制造技术，并在汽车、电子、国防军事、航空航天及***领域得到成功应用。